半导体设备零部件行业深度研究报告：半导体设备之磐基，国产替代正当时
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证 券 研 究 报 告
证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号
行业研究
半导体 2025 年01 月07 日
半导体设备零部件行业深度研究报告
推荐
（维持）
半导体设备之磐基，国产替代正当时
❑ 零部件是半导体设备产业链的基石，各子赛道组成百亿美元市场。半导体行业
遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续摩尔
定律的关键所在，其中半导体设备零部件作为设备关键构成要素，是半导体行
业发展的关键支撑。半导体设备零部件产品种类繁杂多样且验证周期长，行业
技术、客户壁垒高企。据我们测算，全球半导体设备零部件市场 2024年规模
有望超过 540 亿美元，其中中国大陆市场规模约为 187 亿美元。根据富创精
密招股说明书数据，机械类、电气类、机电一体类、气液真空系统类、仪器仪
表类及光学类占半导体设备零部件市场的比例分别为 12%、6%、8%、9%、1%
和8%。展望未来，AI 等新兴应用的发展将助力半导体市场规模持续增长，进
而带动晶圆厂设备支出、设备零部件市场规模不断提升。
❑ 周期复苏明朗&国产替代正当时，半导体设备零部件行业迎来发展窗口期。
2024 年以来，消费电子等终端需求持续改善叠加 AI、汽车电子等驱动行业革
新，半导体行业周期复苏趋势明朗，行业需求回升促使全球晶圆厂持续扩产，
带动设备支出增长，根据 SEMI 预测，2024年全球晶圆厂设备支出将提升至
1130 亿美元。外部政策方面，海外管制层层加码，2024 年12 月2日，美国将
多家中国半导体企业列入实体清单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微
等多家半导体设备公司，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升；与此同
时，我国政策持续发力，2024 年5月成立的国家大基金三期有望加大对核心
技术和关键零部件的支持力度。周期复苏、国产替代、政策支持等多重利好共
振，国产半导体设备零部件产业链有望迎来加速发展窗口期。
❑ 半导体设备关键零部件市场竞争格局较为集中，国产厂商凭技术优势/平台型
布局前景可期。全球半导体设备零部件行业格局整体较为分散，根据 Yole 数
据，2022 年行业 CR10 为53%，但各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、
真空阀门、真空泵等被少数海外巨头垄断。以静电卡盘市场为例，该市场主要
由日本和美国等企业主导，根据 QY Research 数据，2021 年前四大企业占据
90%以上的全球市场份额。整体看国内半导体设备关键零部件产业尚处于发展
初期，未来随着本土厂商技术实力的不断提升，叠加设备产业链国产替代进程
加速，具备技术优势的国内企业有望率先导入下游头部客户，而充分内拓外延
平台化布局的企业将具备广阔的成长空间。
❑ 投资建议：半导体设备零部件作为产业基石，品类繁多、参与制造全流程，是
决定半导体设备产业发展水平的关键因素。当前伴随行业周期复苏与 AI 驱动
产业革新，晶圆厂扩产持续推进，叠加自主可控需求推动国产替代加速，建议
关注国内零部件技术与布局领先的标的：富创精密、珂玛科技、英杰电气、新
莱应材、江丰电子等。
❑ 风险提示：下游客户验证不及预期；晶圆厂扩产进度不及预期；中美贸易摩擦
加剧。
证券分析师：耿琛
电话：0755-82755859
邮箱：gengchen@hcyjs.com
执业编号：S0360517100004
证券分析师：岳阳
邮箱：yueyang@hcyjs.com
执业编号：S0360521120002
行业基本数据
占比%
股票家数(只)
162
0.02
总市值(亿元)
42,287.35
4.52
流通市值(亿元)
29,330.62
3.97
相对指数表现
%
1M
6M
12M
绝对表现
-8.5%
35.0%
23.7%
相对表现
-3.3%
25.1%
10.4%
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-21%
4%
29%
54%
24/01 24/03 24/05 24/08 24/10 25/01
2024-01-08~2025-01-06
半导体
沪深300
华创证券研究所
半导体行业深度研究报告
证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号
投资主题
报告亮点
本报告主要分为三部分：第一部分是对半导体设备零部件产业链地位、产
品种类情况进行了细致的分析与介绍；第二部分对半导体设备零部件的行
业驱动力、市场空间、竞争格局等进行详细阐述；第三部分对建议关注的
标的展开分析，包括发展历程、产品梳理及财务分析等情况。
投资逻辑
半导体周期复苏，晶圆厂扩产带来设备零部件需求。2024 年以来，消费
电子终端需求逐渐回暖，AI、HPC、汽车电子等新兴领域蓬勃发展驱动产
业发展，半导体周期复苏趋势明朗，促使全球晶圆厂持续扩产。根据 SEMI
预测，2025 年全球半导体每月晶圆产能同比增长 7%，其中中国大陆贡献
主要增长动力，产能同比增长 14%。晶圆厂扩产提升设备需求，而设备零
部件作为设备关键构成要素，其性能优劣直接影响设备的整体性能，价值
占比高，2023 年中国大陆主要半导体设备厂商直接材料占生产成本比例
平均 90.23%。晶圆厂扩产浪潮下，半导体设备零部件供应商将迎来大量
订单机会，业绩有望显著增长。
海外巨头垄断核心零部件，自主可控背景下国产替代进程有望加速。半导
体设备零部件制造工序繁琐、技术难度大，行业内多数企业只专注于个别
生产工艺或特定产品，故 各细分赛道内部集中度高，其中静电卡盘、真空
阀门、真空泵等技术难度高的核心零部件被少数海外巨头垄断。海外管制
不断升级，2024 年12 月2日，美国将多家中国半导体企业列入实体清
单，其中包括：北方华创、拓荆科技、芯源微等多家半导体设备公司，半
导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升，国内半导体设备零部件厂商迎
来广阔市场替代空间。建议关注国内零部件技术与布局领先的标的：富创
精密、珂玛科技、英杰电气、新莱应材、江丰电子等。
半导体行业深度研究报告
证监会审核华创证券投资咨询业务资格批文号：证监许可（2009）1210 号 3
目 录
一、 零部件是半导体设备行业的基石，技术复杂产品种类众多 ....................................... 7
（一） 腔体及机械零部件 ............................................................................................... 9
（二） 传送装置类零部件 ............................................................................................. 11
（三） 电源和射频控制类零部件 ................................................................................. 12
（四） 气体输送类零部件 ............................................................................................. 13
（五） 真空控制类零部件 ............................................................................................. 14
（六） 温度控制类零部件 ............................................................................................. 17
（七） 光学类零部件 ..................................................................................................... 17
二、 半导体设备零部件市场空间广阔，国产替代助推行业快速发展 ............................. 18
（一） 半导体行业周期，晶圆厂扩产支撑设备长期增长 ......................................... 18
（二） 设备零部件价值占比高，市场空间广阔 ......................................................... 21
（三） 行业格局整体分散细分领域集中，国产零部件加速突破 ............................. 24
三、 核心标的 ......................................................................................................................... 27
（一） 富创精密：半导体设备零部件领军者，国际化发展+国产替代双轮驱动 ... 27
（二） 珂玛科技：国产陶瓷材料零部件领跑者，掌握核心技术发展空间广阔 ...... 30
（三） 英杰电气：本土高端工业电源领军企业，半导体业务放量打开成长空间 .. 33
（四） 新莱应材：全面布局多领域洁净系统组件，气体/真空零部件快速放量..... 34
（五） 江丰电子：金属溅射靶材领军者，半导体设备零部件业务进入放量期 ...... 37
四、 风险提示 ......................................................................................................................... 38
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作者：蕉下梦
分类：研究报告
价格：免费
属性：41 页
大小：3.68MB
格式：PDF
时间：2025-01-10
